有机物热蒸发源
可集成于Korvus HEX 和HEX-L系统中。
主要指标:
1. 紧凑设计
2. 监控精度:0.1 A/s
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桌面式模块化真空镀膜系统
磁控溅射靶枪
Mini电子束蒸发源
热蒸发源
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