语言选择：
耐氧化束源炉-OREZ满足高氧气背底真空的氧化物MBE应用的要求。典型工作气压从10-4 mbar到几mbar，温度可加热到1200℃。使用贵金属和镍基结构材料最大的改善了普通超高真空束源炉抗氧环境。特殊的镍合金加热丝和屏蔽部分可是在超高真空中和持续的氧气氛围内加热至1000℃。贵金属合金加热丝和屏蔽部分可以加热至1200℃。典型应用包括：利用表面氧化形成氧化层，在氧气氛围内蒸发金属形成氧化物薄膜，以及直接蒸发氧化物。表面氧化层和氧化物薄膜普遍应用于绝缘材料，如微电子器件。厚的氧化物薄膜常用于探测器和光学器件，由于氧化物具备光学，磁学，电学以及半导体等多方面性能。
产品特点：
安装法兰：DN40CF／DN63CF
真空内长度：200～400mm
加热灯丝类型：镍合金(1000℃)，贵金属合金(1200℃)，加热灯丝有标准加热，热唇加热，冷唇加热，双灯丝加热
热偶：NiCr／NiAl (K型)
加热温度：200～1200℃
除气温度：1000 / 1200℃
外部烘烤温度：250℃
冷却方式：集成水冷或者单独的水冷
坩埚容量：10／35／60／125 cc
坩埚材料：PBN／Al2O3／BeO
选配：挡板
如有设备需求或技术咨询欢迎随时联系我们。
电话：010-80698356
邮箱：Info@be-instruments.com
地址： 北京市朝阳区霄云路36号国航大厦1310室
