热气注入源-TGI可以向MBE腔体中注入加热的气体或者高蒸气压材料,注入的材料不会有任何裂解,同时也可以选配裂解区,产生裂解气体。
产品特点:
热气体注入源
没有材料裂解
没有材料聚集
兼容各种MBE系统
低功耗
集成水冷
使用气体:
如有设备需求或技术咨询欢迎随时联系我们。
热裂解源-TCC
GaP阀式裂解源-VGC
腐蚀性元素阀式裂解源-V
砷元素阀式裂解源-VAC
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