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热气注入源-TGI可以向MBE腔体中注入加热的气体或者高蒸气压材料，注入的材料不会有任何裂解，同时也可以选配裂解区，产生裂解气体。
产品特点：
热气体注入源
没有材料裂解
没有材料聚集
兼容各种MBE系统
低功耗
集成水冷
使用气体：
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