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EUV OEM组件

  • EUV光源分布成像相机
EUV光源分布成像相机

EUV光源分布成像相机

  • 带内成像
  • 波长:13.5 nm ±2%
  • 成像分辨率 ~ 40微米
  • 聚焦深度:500 / 1000 mm
  • 产品描述:EUV光源成像相机,用于诊断/校准EUV光源分布特性
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德国Research Instruments 公司是属于Bruker的一个专注于研究室用的深紫外和极紫外光相关的技术的高科技公司,成立于2009年。主要设备制造经验集中在超高真空超洁净纳米定位系统,各种类型的深(极)紫外光源,光学元件,集成的分析光谱仪器,软X射线解决方案等。

我们提EUV/XUV分析测试系统相关的OEM组件:包括EUV 光源,EUV CCD相机模块,EUV光谱分析模块,EUV能量监控模块,EUV聚焦模块.


EUV光源分布分析CCD相机


技术参数:

wavelength

Band width

Focal length

Operation pressure

13.5 nm

0.45 nm

250 mm(Nominal)

10-7 mbar

Length

Width

Max. Height

Weight

1000 mm

480 mm

450 mm

20 kg

Interface

DN 40 CF

Electronic connections

GigE / POE

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电话:010-80698356

邮箱:Info@be-instruments.com

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