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EUV OEM组件

  • EUV光源二极管探测器
EUV光源二极管探测器

EUV光源二极管探测器

  • 内涵谱过滤器
  • 可见光隔离
  • 带宽 10-20 nm
  • 适用于Soft X-ray, EUV, XUV
  • 产品描述:EUV光源二极管探测器
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德国Research Instruments 公司是属于Bruker的一个专注于研究室用的深紫外和极紫外光相关的技术的高科技公司,成立于2009年。主要设备制造经验集中在超高真空超洁净纳米定位系统,各种类型的深(极)紫外光源,光学元件,集成的分析光谱仪器,软X射线解决方案等。

我们提EUV/XUV分析测试系统相关的OEM组件:包括EUV 光源,EUV探测二极管,EUV CCD相机模块,EUV光谱分析模块,EUV能量分析模块,EUV聚焦模块.


EUV光源二极管探测器


技术参数:

wavelength range

Nominal rise time

Capacitance

Operation pressure

8 ~ 20 nm

0.7 ns

40 pF

10-3 mbar

Length

Diameter

Weight

53.3 mm

CF 40: 70 mm

< 500 g

Interface

DN 40 CF


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邮箱:Info@be-instruments.com

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