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EUV OEM组件

  • EUV光源聚焦模块
EUV光源聚焦模块

EUV光源聚焦模块

  • 波长范围:1~20 nm
  • 产品描述:EUV光源聚焦模块
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德国Research Instruments 公司是属于Bruker的一个专注于研究室用的深紫外和极紫外光相关的技术的高科技公司,成立于2009年。主要设备制造经验集中在超高真空超洁净纳米定位系统,各种类型的深(极)紫外光源,光学元件,集成的分析光谱仪器,软X射线解决方案等。

我们提EUV/XUV分析测试系统相关的OEM组件:包括EUV 光源,EUV探测二极管,EUV CCD相机模块,EUV光谱分析模块,EUV能量监控模块,EUV聚焦模块.


EUV光源聚焦模块


技术参数:

wavelength range

1~20 nm

Dimension

Weight

550 x 130 x 120 mm

36.5 kg

Interface

DN 40 CF

Compatibility

E-CAM

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