脉冲激光沉积/激光分子束外延系统

荷兰Twente Solid State Technology BV（TSST）公司专注于为用户提供定制化的脉冲激光沉积系统（PLD），以及相关薄膜制备解决方案，公司具有20多年研究与生产脉冲激光沉积系统的经验。

TSST与世界最大的纳米与微系统技术研究中心之一荷兰Twente大学MESA⁺ Institute保持着密切合作，开发出各种脉冲激光沉积技术中需要使用的核心技术。

脉冲激光沉积原理：在真空环境下利用脉冲激光对靶材表面进行轰击，利用激光产生的局域热量将靶材物质轰击出来，再沉积在不同的衬底上，从而形成薄膜。

PLD工作原理图

激光分子束外延系统（LMBE），是在PLD的基础上发展起来的外延薄膜生长技术。

在高氧气压力环境下实现RHEED原位监控，曾是RHEED分析的一个重要难题，TSST第一个提出差分抽气的方式实现高压环境下RHEED原位监控---TorrRHEED，TSST是TorrRHEED的发明人，在系统制造和RHEED的使用，以及结果分析方面，有丰富的经验。

标准激光分子束外延系统 （LMBE）

脉冲激光沉积技术适合做的薄膜包括各种多元氧化物，氮化物，硫化物薄膜，金属薄膜，磁性材料等。

应用领域：

单晶薄膜外延（SrTiO₃，LaAlO₃）

压电薄膜（PZT，AlN，BiFeO₃，BaTiO₃）

铁电薄膜（BaTiO₃，KH₂PO₄）

热电薄膜（SrTiO₃）

金属和化合物薄膜电极（Ti，Ag，Au，Pt，Ni，Co，SrRuO₃，LaNiO₃，YZrO₂，GdCeO₂，LaSrCoFeO₃）

半导体薄膜（Zn(Mg)O，AlN，SrTiO₃）

高K介质薄膜（HfO₂，CeO₂，Al2O₃，BaTiO₃，SrTiO₃，PbZrTiO₃，LaAlO₃，Ta₂O₅）

超导薄膜（YBa₂CuO_7-x，BiSrCaCuO）

光波导，光学薄膜（PZT，AlN，BaTiO₃，Al₂O₃，ZrO₂，TiO₂）

超疏水薄膜（PTFE）

红外探测薄膜（V₂O₅，PZT）

外延薄膜展示