双坩埚掺杂用束源炉-DDS的坩埚容量很小,设计紧凑,可以提高MBE系统的利用率,通过一个法兰孔可以实现两种材料的掺杂,如Be和Si。
产品特点:
法兰尺寸:CF63
腔体内直径:216-400mm
灯丝类型:Ta灯丝
热偶:W5%Re/W26%Re (Type C)
外部烘烤温度:200℃
操作温度:200-1400℃
除气温度:1500℃
坩埚:PBN坩埚,2cc,5cc
电话:010-80698356
邮箱:Info@be-instruments.com
地址: 北京市朝阳区霄云路36号国航大厦1310室