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分子束外延束源炉

  • 双口掺杂束源炉
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双口掺杂束源炉双口掺杂束源炉双口掺杂束源炉

双口掺杂束源炉

  • 型号:DDS
  • 产品描述:双口掺杂束源炉可以提高MBE系统的利用率,通过一个法兰孔可以实现两种材料的掺杂,如Be和Si。
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双口掺杂束源炉可以提高MBE系统的利用率,通过一个法兰孔可以实现两种材料的掺杂,如Be和Si。


特点:


法兰尺寸:CF63

腔体内直径:216-400mm

坩埚容量:8cm3,15cm3

灯丝类型:Ta灯丝

热偶:W5%Re/W26%Re (Type C)

外部烘烤温度:200℃

操作温度:200-1400℃

除气温度:1500℃

坩埚:PBN坩埚,2cc,5cc