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分子束外延束源炉

  • 生产型大容量束流源 PEZ
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生产型大容量束流源 PEZ生产型大容量束流源 PEZ

生产型大容量束流源 PEZ

  • 产品描述:PEZ束流源是为较高生产力MBE系统的特殊要求设计的,宽温度范围从200到1400℃可以蒸发或升华不同元素和化合物,包括标准的III/V族和II/VI族材料,如Al,Ga,In,As,Zn。 标准灯丝SF,热唇灯丝HL,冷唇灯丝CL和双灯丝DF加热器可以根据蒸发材料的不同要求制作。
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PEZ束流源是为较高生产力MBE系统的特殊要求设计的,宽温度范围从200到1400℃,可以蒸发或升华不同元素和化合物,包括标准的III/V族和II/VI族材料,如Al,Ga,In,As,Zn。


特点:

法兰尺寸:CF63/CF100/CF150/CF200

真空腔体内长度:250~400mm

加热灯丝类型:标准的钽加热灯丝/热唇加热灯丝/冷唇加热灯丝/双灯丝加热

热偶:W5%Re/W26%Re (C型)

加热温度:200~1400℃

除气温度:最高1500℃

外部烘烤温度:250℃

冷却方式:金属加热的无铜接触

坩埚容量:40~1700 cm3

坩埚材料:PBN

选配:集成水冷罩