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分子束外延束源炉

  • 量产型大容量束源炉-PEZ
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量产型大容量束源炉-PEZ量产型大容量束源炉-PEZ量产型大容量束源炉-PEZ

量产型大容量束源炉-PEZ

  • 最大4000cc容量
  • 产品描述:量产型大容量束源炉-PEZ是为较高产能MBE系统特殊设计的,宽温度范围,大容量束源炉,温度范围:200到1400℃,可以蒸发不同元素和化合物,包括标准的III/V族和II/VI族材料,如Al,Ga,In,As,Zn。 加热器可以根据蒸发材料的不同要求制作。广泛应用于GaAs,CIGS,太阳能电池,OLED等领域。
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量产型大容量束源炉-PEZ是为较高产能MBE系统特殊设计的,宽温度范围,大容量束源炉,温度范围:200到1400℃,可以蒸发不同元素和化合物,包括标准的III/V族和II/VI族材料,如Al,Ga,In,As,Zn。
加热器可以根据蒸发材料的不同要求制作。


产品特点:

法兰尺寸:CF63/CF100/CF150/CF200

真空腔体内长度:250~400mm

加热灯丝类型:标准的钽加热灯丝/热唇加热灯丝/冷唇加热灯丝/双灯丝加热

热偶:W5%Re/W26%Re (C型)

加热温度:200~1400℃

除气温度:最高1500℃

外部烘烤温度:250℃

冷却方式:金属加热的无铜接触

坩埚容量:40~4000 cm3

坩埚材料:PBN

选配:集成水冷罩

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电话:010-80698356

邮箱:Info@be-instruments.com

地址: 北京市朝阳区霄云路36号国航大厦1310室