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分子束外延团簇型束源炉

  • 四坩埚团簇型束源炉-QCS
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四坩埚团簇型束源炉-QCS四坩埚团簇型束源炉-QCS四坩埚团簇型束源炉-QCS

四坩埚团簇型束源炉-QCS

  • 型号:QCS
  • 产品描述:四坩埚团簇型束源炉-QCS应用于有机材料或者金属蒸发,在一个法兰孔上集成了独立的四个源,独立的四孔源可以实现不同温度材料的蒸发,蒸发温度可以达到1100℃。可以满足低温的有机材料蒸发,也可以实现高温材料的蒸发,也可以实现不同材料的掺杂。
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QCS四簇源应用于有机材料或者金属蒸发,蒸发温度可以达到1100℃,四个独立的源可以应用于不同材料掺杂,以及不同温度的材料蒸发。


产品特点:

法兰尺寸:CF40,CF63

真空腔体内长度:180-400mm,(标准220mm)

靶基距:100-160mm

外部烘烤温度:250℃

热偶:K型

除气温度:1100℃

加热温度:25-1000℃

坩埚容量:200,600 cc

坩埚材料:PBN,石英,Al2O3

冷却方式:冷却水流速30l/h

选配:挡板

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