分子束外延团簇型束源炉

四坩埚团簇型束源炉-QCS

型号：QCS
产品描述：四坩埚团簇型束源炉-QCS应用于有机材料或者金属蒸发，在一个法兰孔上集成了独立的四个源，独立的四孔源可以实现不同温度材料的蒸发，蒸发温度可以达到1100℃。可以满足低温的有机材料蒸发，也可以实现高温材料的蒸发，也可以实现不同材料的掺杂。
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QCS四簇源应用于有机材料或者金属蒸发，蒸发温度可以达到1100℃，四个独立的源可以应用于不同材料掺杂，以及不同温度的材料蒸发。

产品特点：

法兰尺寸：CF40，CF63

真空腔体内长度：180-400mm,(标准220mm)

靶基距：100-160mm

外部烘烤温度：250℃

热偶：K型

除气温度：1100℃

加热温度：25-1000℃

坩埚容量：200，600 cc

坩埚材料：PBN，石英，Al₂O₃

冷却方式：冷却水流速30l/h

选配：挡板

上一个：双坩埚团簇型束源炉-DCS 下一个：双坩埚掺杂用束源炉-DDS

电话：010-80698356

邮箱：Info@be-instruments.com

地址：北京市朝阳区霄云路36号国航大厦1310室