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分子束外延束源炉

  • 标准束源炉-WEZ/NTEZ/HTEZ
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标准束源炉-WEZ/NTEZ/HTEZ标准束源炉-WEZ/NTEZ/HTEZ

标准束源炉-WEZ/NTEZ/HTEZ

  • 型号:WEZ/NTEZ/HTEZ
  • 产品描述:标准的束流源-WEZ/NTEZ/HTEZ是为蒸发或升华不同元素和化合物设计的,例如典型的III/V族Al,Ga或In等MBE材料,温度范围在700到1400℃。WEZ主要用于薄膜生长和样品制备,但是也可以当作掺杂源(如Si或Be)使用。 标准灯丝,热唇灯丝,冷唇灯丝和双灯丝加热器可以根据蒸发材料的不同要求制作。每个灯丝套件是由PBN陶瓷环做支撑钽丝缠绕而成的。这种绕线式加热器理念确保了坩埚内极好
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标准束流源WEZ是为蒸发或升华不同元素和化合物设计的,例如典型的III/V族材料,典型的蒸发材料有Ga,In,Al,Si,Be,Cu,Au,CaF2等薄膜生长和样品制备,也可以当作掺杂源(如Si或Be)使用。


产品特点:

法兰尺寸:CF40/CF63

真空腔体内长度:250~400mm

加热灯丝类型:标准的钽加热灯丝/热唇加热灯丝/冷唇加热灯丝/双灯丝加热

热偶:W5%Re/W26%Re ( C型)

加热温度:700~1400℃

外部烘烤温度:250℃

冷却方式:金属加热器的无铜接触

坩埚容量:10/35/60 cm3

坩埚材料:PBN

选配:挡板

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