标准束流源WEZ是为蒸发或升华不同元素和化合物设计的,例如典型的III/V族材料,典型的蒸发材料有Ga,In,Al,Si,Be,Cu,Au,CaF2等薄膜生长和样品制备,也可以当作掺杂源(如Si或Be)使用。
产品特点:
安装法兰:DN40CF/DN63CF
真空内长度:250~400 mm
加热灯丝类型:标准的钽加热灯丝/热唇加热灯丝/冷唇加热灯丝/双灯丝加热
热偶:W5%Re / W26%Re ( C型)
加热温度:700~1400℃
外部烘烤温度:250℃
冷却方式:金属加热器的无铜接触
坩埚容量:10/35/60 cc
坩埚材料:PBN
选配:挡板
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