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反射式高能电子衍射(RHEED)

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反射式高能电子衍射仪(RHEED)反射式高能电子衍射仪(RHEED)

反射式高能电子衍射仪(RHEED)

  • RHEED
  • 产品描述:反射式高能电子衍射(Reflection High-Energy Electron Diffraction,简称RHEED)是高能电子衍射的一种工作模式。它将能量为10~50keV的单电子束掠入射 (1°~3°)到晶体表面,其反射束带有晶体表面信息,并呈现于荧光屏。
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STAIB INSTRUMENTS是世界领先的高性能表面分析仪器供应商之一,我们的反射式高能电子衍射仪(RHEED)和差分式反射式高能电子衍射仪(TorrRHEED)被广泛应用于各种薄膜生长原位监控,世界各大真空镀膜设备制造商均采用我们的产品,如德国Omicron,法国Riber,荷兰TSST等等,得到了国内外各大企业以及科研院所的一致认可!

反射式高能电子衍射得到广泛运用是与分子束外延(MBE)技术发展有关。它可用于原位观察外延薄膜生长情况,为改进生长条件提供依据。反射高能衍射具有较高的表面灵敏度(10~40埃),但它不仅限于作单晶表面结构分析,也可用于多晶、孪晶、无定形表面及微粒样品的表面结构分析。也可用来作物相鉴定、测定晶体取向和原子位置。此外,电子衍射可以用来测定晶体的空间群。


RHEED特点: 

电子枪能量范围:10 keV ~60 keV

工作气压范围:从UHV到1×10-5 mbar

高性能电子枪:高亮度、小斑点、低分散、极低放气率

荧光屏:镀铝保护涂层

远程控制:实现电子束聚焦、偏转及电子闸门功能

电子束偏转角度:±15°

选配:一级差分,工作气压可达10-3 Torr

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