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反射式高能电子衍射(RHEED)

  • 差分式反射式高能电子衍射仪TorrRHEED
差分式反射式高能电子衍射仪TorrRHEED

差分式反射式高能电子衍射仪TorrRHEED

  • 差分式反射式高能电子衍射仪TorrRHEED
  • 产品描述:差分式反射式高能电子衍射仪(RHEED)用于高气压活泼气体氛围薄膜生长系统,如PLD,MOMBE,CVD等。由于高气压活泼气体氛围下影响RHEED灯丝的使用寿命,以及气体分子对电子束斑散射和折射影响RHEED衍射图谱。因此选择差分反射式高能电子衍射仪TorrRHEED。
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差分式反射式高能电子衍射仪TorrRHEED用于高气压活泼气体氛围薄膜生长系统,如PLD,MOMBE,CVD等。由于高气压活泼气体氛围下影响RHEED灯丝的使用寿命,以及气体分子对电子束斑散射和折射影响RHEED衍射图谱。因此选择差分反射式高能电子衍射仪TorrRHEED。

它可用于原位观察外延薄膜生长情况,为改进生长条件提供依据。反射高能衍射具有较高的表面灵敏度(10~40埃),但它不仅限于作单晶表面结构分析,也可用于多晶、孪晶、无定形表面及微粒样品的表面结构分析。也可用来作物相鉴定、测定晶体取向和原子位置。此外,电子衍射可以用来测定晶体的空间群。


RHEED特点:

电子枪能量范围:30keV~50keV

工作气压范围:一级差分10mTorr,二级差分100mTorr

高性能电子枪:高亮度、小斑点、低分散、极低放气率

荧光屏:镀铝保护涂层

远程控制:实现电子束聚焦、偏转及电子闸门功能

电子束偏转角度:±15°


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