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磁控溅射靶枪
可集成于Korvus HEX 和HEX-L系统中。
主要指标：
1. 靶材尺寸：2英寸
2. 靶材厚度：0.5-6 mm，1 mm(磁性材料)
3. 可兼容直流电源，射频电源，脉冲直流电源，高功率脉冲电源
4. 设计有水冷管道
5. 靶材利用率高达40%
如有设备需求，欢迎随时联系我们。
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