定制型多坩埚束源炉-CCS,可根据用户应用需求将不同类型的束源炉集成到同一个法兰中,并且可以定制各个束源炉的配置。
双坩埚团簇型束源炉-DC
四坩埚团簇型束源炉-QC
双坩埚掺杂用束源炉-DD
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