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单口电子束竖直蒸发源EBVV是为竖直向预留法兰口的超高真空设备而设计，可以满足竖直安装。非常适合低蒸气压材料，难熔金属或掺杂，如P，C等；以及新兴的高介电材料Al2O3，Pr3O3或者其他氧化物，电介质，也可以满足Si薄膜生长。
特点：
法兰尺寸：CF63／CF100
坩埚容量：4/5 cc
真空腔体内长度：234～400mm
加热口尺寸：Ø22mm (15° 锥角) x H 15mm ，Ø23mm (12°锥角) x H 15mm
外部烘烤温度：200℃
束斑尺寸：直径约5mm
束流偏转：270°磁场偏转
水冷：5l/min，压力约4bar
选配：挡板
电话：010-80698356
邮箱：Info@be-instruments.com
地址： 北京市朝阳区霄云路36号国航大厦1310室
