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氢原子源-HABS是一种热模式的气体裂解源，可以产生没有离子状态的H原子束流，可以有效避免离子轰击对衬底的影响。
产品特点：
氢原子裂解效率可达到：80%~98%
原子氢密度高达10^16/s*cm2
没有高能粒子和离子存在
低功耗：< 200 W
集成水冷
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