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EUV OEM组件

  • 深(极)紫外光源
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深(极)紫外光源

  • 模块化系统
  • 全自动按钮操作
  • 长时间工作稳定
  • PLC 安全控制
  • 产品描述:深紫外光源,波长~13.5 nm,50~500 mW(带内功率)
  • 在线订购

德国Research Instruments 公司是属于Bruker的一个专注于研究室用的深紫外和极紫外光相关的技术的高科技公司,成立于2009年。主要设备制造经验集中在超高真空超洁净纳米定位系统,各种类型的深(极)紫外光源,光学元件,集成的分析光谱仪器,软X射线解决方案等。


我们提EUV/XUV分析测试系统相关的OEM组件:包括EUV 光源,EUV CCD相机模块,EUV光谱分析模块,EUV能量监控模块,EUV聚焦模块.



EUV/XUV 光源主要分两种:激光产生等离子体的EUV光源 (LPP) 和放电产生等离子体的EUV光源 (DPP).


产品型号选择:

EUV Lamp DPP, standard

Xenon or air emission spectra

Xe: ≥ 2 W EUV

≥ 150 mW EUV inband

≥ 2000 h operation MTBF

24 / 7 operation

EUV Lamp DPP, power

Xe: ≥ 8 W EUV

≥ 700 mW EUV inband

≥ 500 h operation MTBF

Burst (up to 1 hour) permanent operation

EUV LPP, metrology

≥ 5 mW EUV emission

gold quasi-continuum spectra

< 50 μm source diameter

EUV-Irrad Source, Standard

Xe: ≥ 250 W EUV

≥ 20 W EUV inband

or N2 water window (2.4 -4.4 nm) emission

EUV-Irrad Source, Power

Few minute bursts of

Xe ≥ 500 W EUV

≥ 40 W EUV inband @ 13.5 nm

EUV-Brightness LPP (concept)

Source size down to 20 μm

Inband brightness ≥ 200 W/(mm2 sr)

Top head high brightness profile

典型用户:长春光机所,光电研究院(北京)

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电话:010-80698356

邮箱:Info@be-instruments.com

地址: 北京市朝阳区霄云路36号国航大厦1310室