单口电子束竖直蒸发源-E
单口水平安装电子束蒸发源
多坩埚水平安装电子束蒸发
多坩埚高真空电子束蒸发源
有机材料束源炉-OME
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双坩埚掺杂用束源炉-DD
定制型多坩埚束源炉-CC
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